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| 商品参数： |
【字体】：
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半导体特气检漏仪XP-703D
半导体特气检漏仪XP-703D
| 特点：
¬ 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
¬ 采用声光报警。 |
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型 号 |
XP-703D |
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检测对象气体 |
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） |
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检测原理 |
热线型半导体式 |
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采样方式 |
自动吸引式 |
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可检测浓度
（单位：ppm） |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
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检测表示 |
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
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应答速度 |
10秒以内 | | |
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| 电话：020-83502535 传真：020-83502327 |
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半导体特气检漏仪XP-703D |
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