电子探针显微分析仪简介

电子探针显微分析仪简介

电子探针显微分析仪是电子探针显微分析仪用电子束轰击固体样品表面，并根据微区内所发射出的 X射线的波长（或能量）的强度进行元素定性、定量分析的仪器，简称电子探针。
　　电子探针显微分析仪由电子光学系统、试样台、光学显微镜、 X射线谱仪、电子检测系统和真空系统等组成。
　　其工作原理是将试样置于显微镜下，选定分析位置，以一束细聚焦强电流的电子束激发样品，在直径为1微米、体积 为1立方微米区域内的不同元素受激发射出X射线,用波长色散X射线谱仪或能量色散X射线谱仪读出元素的特征X射线，根据特征X射线的强度与浓度的比例关系，进行元素的定量分析。
　　其优点是：测定元素多（原子序数4以上的元素），精密度好,绝对检出限达10^-15克；还适用于几微米厚的薄层分析和厚度为几个单分子层的超薄膜分析。对微粒矿物和细小的鉴定，研究内部的化学均匀性和元素的地球化学特性，具有重要作用。

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