双频激光干涉仪的优越性

双频激光干涉仪的优越性

1. 精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm 量级，细分后更可达到nm量级。
　　2. 应用范围广：双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
　　3. 环境适应力强：即使光强衰减 90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
　　4. 实时动态测量，测速高：现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1 m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。