电子能谱仪的分类和应用

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电子能谱仪的分类和应用

随着激发源及研究的二次电子来源的不同，电子能谱仪可分为：
　　（1）X光电子能谱仪（XPS）。以X射线为激发源，获得内、外层光电子能谱。对检测轻、重元素均相当有效；
　　（2）紫外光电子能谱仪（UPS）。以紫外光线为激发源，由于紫外光能量低，射线宽度窄，因此对激发价电子层电子灵敏度强，分辨力高，能获得直接反映分子特征的价电子层电子能谱；
　　（3）俄歇(Auger)电子能谱仪（AES）。用电子射线松为激发源，研究俄歇电子获得的能谱，它与X荧光仪相比，对检测原子序数小于33以下的轻元素有较高的灵敏度。在表面物化分析、分子结构鉴定、催化剂研究、新材料研究，以及物理学、理子化学基础理论研究等领域中，应用日益广泛。

应用：电子能谱目前主要应用于催化、金属腐蚀、粘合、电极过程和半导体材料与器件等这样一些极有应用价值的领域，探索固体表面的组成、形貌、结构、化学状态、电子结构和表面键合等信息。随着时间的推移，电子能谱的应用范围和程度将会越来越广泛，越来越深入。
　　UPS主要用于提供：

　　1、清洁表面或有化学吸附物的表面的电子结构；
　　2、参与表面化学键的金属电子和分子轨道的组合等信息；

　　3、有关电子激发和电荷转移的信息。

　　XPS 是用X射线光子激发原子的内层电子发生电离，产生光电子，这些内层能级的结合能对特定的元素具有特定的值，因此通过测定电子的结合能和谱峰强度，可鉴定除H和He（因为它们没有内层能级）之外的全部元素以及元素的定量分析。

　　AES 也不能分析H、He，对样品有一定的破坏作用，但其具有表面灵敏度高（检测极限小于10^-18g）、分析速度快等优点，在表面科学领域主要进行：

　　1、表面组成的定性和定量；

　　2、表面元素的二维分布图和显微像；

　　3、表面元素的三维分布分析;

　　4、表面元素的化学环境和键合等方面的研究。

发布人：2010/10/29 9:42:001098 发布时间：2010/10/29 9:42:00 此新闻已被浏览:1098次