电子能谱仪原理及组成
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电子能谱仪原理及组成
电子能谱仪是进行结构研究的一种仪器。利用一次粒子束作为激发源激发出样品中的二次粒子，研究二次粒子中电子部分能量分布的仪器的总称。若一次粒子束是电子，除激发出样品中的二次电子外，本身会被样品中的原子或分子所散射，其本身亦可作为测量对象。这些电子随着能量的不同在数量上有一个统计分布，将这个分布以能量为纵坐标，计数率为横坐标，即得电子能谱图。
电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器和真空系统等几个部分组成。
发布人：2010/5/11 11:26:001568
发布时间：2010/5/11 11:26:00
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