固态型电导测量传感器

固态型电导测量传感器
基于金属、半导体或电介质的电阻（或电导）在被测物存在下发生变化而进行传感检测。
（a）半导体气体传感器
　　一些半导体元件在吸附气体组分后可改变其载流子数目和阻抗，由此可检测气体组分含量。例如：多孔n-型二氧化锡半导体烧结体（添加铂或钯作催化剂）, 其电阻／电导可随环境气体浓度的增加而减小/增大。此一特性可用于氢、一氧化碳、乙醇、甲烷等多种气体的检测。此外还可用氧化锌、γ-三氧化二铁等其它金属氧化物作检测元件。使用氧化锌，可改善测定的选择性。
　　这种传感器不含电解质液，不需维护，很少中毒现象，使用寿命长（可达5年～10年或以上）。测定浓度范围可由10-6级至％级，响应时间10～30s（％浓度级）或30～605s（10-6浓度级），工作温度－40℃至90℃（有的商品传感器为－10℃ 至45℃），测量准确度士5％。下表列出美国Mitchell仪器公司1993 / 1994 年产品的测定量程。



（b）金箱化学电阻器
　　在绝缘底物（玻璃、陶瓷、氧化铝或石英等）上蒸镀一层极薄的金膜（厚7.5～40nm，电阻值300～1500Ω），当被测物扩散入膜内时，因溅散效应而使电阻值改变，由此可测l～l000Pg/m3的汞或3×10-9～500×10-9的硫化氢，响应时间约13s，水蒸汽、二氧化硫及烃类气体不干扰。在150℃下热解吸后可重复使用。,