电子能谱分析法
采用电子束或者如X射线和紫外光一样的单色光源去照射样品,在一定条件下样品中某些电子受到激发并发射出来。通过测量这些电子的强度和能量,就可以获得有关样品成分、结构的一些信息。我们称这种通过检测被激发电子的能量来分析材料的方法为电子能谱法。
以下仅对俄歇电子能谱法和X射线光电子能谱法作简要介绍。