绿色器件佳能开始销售新的高容量的FPA-3030i5 +

绿色器件佳能开始销售新的高容量的FPA-3030i5 +
2012年佳能公司今天宣布，该公司已经开始销售新的FPA-3030i5 + i线步进设计，以提供高效节能的“绿色设备”制造一个长期的制造解决方案，和MEMS （微机电系统）设备。


Canon FPA-3030i5+ 

作为清洁能源和节能增加的认识，也有新的需求，“绿色技术”，包括风能和太阳能发电，车辆的燃油效率，低功耗的设施和环保设备。趋势表明，向产品和运营对环境的影响减少驱动器。
真空表| 硬度计| 探伤仪| 电子称| 热像仪| 频闪仪| 测高仪| 测距仪| 金属探测器
环保设备制造商有独特的工艺要求，并已纳入到家计3030i5 +半导体步进设计一些新的升级。 FPA-3030i5 +是专为各种用户，包括功率半导体，LED（发光二极管）和MEMS制造商提供一个灵活的解决方案。

佳能FPA-3030i5 +在同类产品中实现最高级别的成像分辨率，套印精度和生产率表现
根据通过的现场验证焦平面-3000系列，在焦平面-30303i5培养技术+能够提供低于350纳米的成像分辨率* 1保持覆盖小于40纳米* 1和吞吐量超过104每小时晶圆精度的同时， * 2提供最高级别的性能，在同一类的i线光刻工具。* 3佳能开发的FPA-3030i5 +系统，以可靠地满足和超越绿色器件和MEMS制造商的成像，叠加和生产力的要求。

FPA-3030i5 +采用新的软件结构和电气控制系统，允许应用先进的硬件和软件选项，以支持下一代半导体制造。

佳能FPA-3030i5 +支持绿色器件和MEMS制造所需的特殊基板材料
焦平面-3030平台，允许加工硅（Si），蓝宝石（Al2O3），碳化硅（SiC）和各种各样的绿色设备制造中使用的晶圆材料。 FPA-3030i5 +选项包括翘曲晶圆处理系统允许扭曲基板的加工。的FPA-3030i5 +步进还可以被配置来处理多个晶圆尺寸，并且可以配备多种选项，以提高生产力和效率。

* 1 1 nm（纳米）= 1米的十亿分
* 2 200毫米晶圆，每片晶圆的60杆
* 3截至2012年6月15日，在同一类的i线光刻工具（基于佳能的市场调研）