离子探针的数据系统和应用 用计算机接收扫描离子像的
优点为：
a ．当样品易损坏或要求快速分析时，快速接收是非常重要的。
b ．能贮存所有信息，且不太费时。
c ．图像易贮存在磁盘、光盘或磁带上，便于传送、再显；
d ．生处理数据以得到最大的信息。
市场上可以买到一些常用的离子探针计算机系统。如英国VG 公司的VGX 7000 系列，使用DEC 公司的PDP11/23 小型机，Micro-RSX 操作系统。可接收和处理二次离子或二次电子像以及常用的质谱图和深度剖析。具有一个8 位每帧可存512×512 像素的图像寄存器，允许同时贮存4 幅256×256 像素的图像，每个像素接收时间为0.3ms ，一幅256×256 的像，最少时间为20s。现又开发出TOF?SIMS 系统，可同时至多接收8 幅像，每幅像中至多可包含20 个峰（或峰群）。美国Charles Evans & Associates 公司开发3PC-1 数据系统，
辐照计|
声级计|
温湿度计|
红外线测温仪|
温湿度仪|
红外线温度计|
露点仪|
亮度计|
温度记录仪|可用于Cameca 离子显微镜。使用IBM 公司的PC-AT 微机，提供常用的质谱图、深度剖析软件和接收离子像功能。所带的附件能现调离子像且调节强度标尺，产生追溯线扫描，实现多维图像接收和处理等功能。用计算机接收时，利用位敏检测器（该公司是电阻性阻极编码器，型号为RAE ? SPC），能指定到达二次离子位置，产生一幅元素分布图。
应用
成像离子探针适用于许多不同类型的样品。下面给出一些代表性例子。
（1）金属样品
这是理想的样品，不会荷电。首先可用SEM 直接找出感兴趣的分析区。使用剖面样品和使用扫描离子探针，沿剖面线扫描的方法是一种有用的技术，可作为动态SIMS 的补充。可用于金属氧化物成长、腐蚀、焊接、应力失效断裂和晶粒间界偏析等方面的研究。
（2）半导体器件
检测掺杂分布剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展，扫描离子探针分析越来越重要。
（3）非导体样品
高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决荷电问题，已开发出了微聚焦扫描原子束，可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当横向分辨率需优于5μm 时，上述源就不能满足要求了。此时仍需用聚焦微离子束。这方面己成功地得到了家蝇复眼的离子像。应用的另一个领域是复合材料，尤其是研究这类材料破裂界面的情况。
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